Bài giảng Công nghệ vi điện tử: Chương 6 - Ăn mòn

Bài giảng Công nghệ vi điện tử: Chương 6 về ăn mòn trong công nghệ vi điện tử: ăn mòn hóa ướt (làm bóng, sạch), ăn mòn dị hướng (KOH), ăn mòn SiO2 (HF), và ăn mòn plasma.