Sự hình thành và kết tinh của dây nano 3C-SiC dưới tác dụng của chùm tia điện tử

Trong nghiên cứu này sẽ cho thấy sự phát triển và kết tinh dần lên của dây nano 3C-SiC từ dây nano SiC vô định hình dưới sự tác dụng của chùm điện tử trong HRTEM. Hướng tinh thể dọc trục dây nano 3CSiC hình thành trong nghiên cứ này không giống với hướng tinh thể trong các phương pháp chế tạo dây nano 3C-SiC đã nghiên cứu và công bố trước đây.

Từ khóa: Tác dụng của chùm điện tử, Dây nano 3C-SiC, Hướng tinh thể, Phương pháp chế tạo dây nano 3C-SiC, Vật liệu bán dẫn